BS-4020B Mikroskopi i Inspektimit të Waferit Industrial Trinocular
Hyrje
Mikroskopi inspektues industrial BS-4020B është projektuar posaçërisht për inspektimin e vaferave me madhësi të ndryshme dhe PCB-ve të mëdha. Ky mikroskop mund të sigurojë një përvojë vëzhgimi të besueshme, të rehatshme dhe të saktë. Me strukturë të kryer në mënyrë perfekte, sistem optik me definicion të lartë dhe sistem operativ ergonomik, BS-4020 realizon analiza profesionale dhe plotëson nevoja të ndryshme të kërkimit dhe inspektimit të vaferave, FPD, paketimit të qarkut, PCB, shkencave materiale, derdhjes precize, metalokeramikës, kallëp preciz, gjysmëpërçues dhe elektronik etj.
1. Sistemi i përsosur i ndriçimit mikroskopik.
Mikroskopi vjen me ndriçim Kohler, siguron ndriçim të ndritshëm dhe uniform në të gjithë fushën e shikimit. I koordinuar me sistemin optik të pafundësisë NIS45, objektivin e lartë NA dhe LWD, mund të sigurohet imazhe mikroskopike perfekte.
Veçoritë
Fusha e ndritshme e ndriçimit të reflektuar
BS-4020B miraton një sistem optik të shkëlqyer me pafundësi. Fusha e shikimit është uniforme, e ndritshme dhe me shkallë të lartë të riprodhimit të ngjyrave. Është i përshtatshëm për të vëzhguar mostrat e gjysmëpërçuesve të errët.
Fushë e errët
Mund të realizojë imazhe me definicion të lartë në vëzhgimin e fushës së errët dhe inspektimin e vazhdueshëm me ndjeshmëri të lartë ndaj të metave të tilla si gërvishtjet e imëta. Është i përshtatshëm për inspektimin sipërfaqësor të mostrave me kërkesa të larta.
Fushë e ndritshme e ndriçimit të transmetuar
Për mostrat transparente, të tilla si FPD dhe elementët optikë, vëzhgimi i fushës së ndritshme mund të realizohet nga kondensatori i dritës së transmetuar. Mund të përdoret gjithashtu me DIC, polarizimin e thjeshtë dhe aksesorë të tjerë.
Polarizim i thjeshtë
Kjo metodë vëzhgimi është e përshtatshme për ekzemplarë të dythyerjes si p.sh. indet metalurgjike, mineralet, LCD dhe materialet gjysmëpërçuese.
Ndriçimi i reflektuar DIC
Kjo metodë përdoret për të vëzhguar dallime të vogla në kallëpe precize. Teknika e vëzhgimit mund të tregojë diferencën e vogël në lartësi, e cila nuk mund të shihet në një mënyrë të zakonshme vëzhgimi në formën e imazheve të stampuara dhe tredimensionale.
2. Objektivat e fushës së ndritur dhe fushës së errët gjysmë-APO dhe APO me cilësi të lartë.
Duke adoptuar teknologjinë e veshjes me shumë shtresa, lentet objektive gjysmë-APO dhe APO të serive NIS45 mund të kompensojnë devijimin sferik dhe devijimin kromatik nga ultravjollcë në infra të kuqe afër. Mprehtësia, rezolucioni dhe interpretimi i ngjyrave të imazheve mund të garantohen. Mund të merret imazhi me rezolucion të lartë dhe imazh të sheshtë për zmadhime të ndryshme.
3. Paneli i funksionimit është në pjesën e përparme të mikroskopit, i përshtatshëm për t'u përdorur.
Paneli i kontrollit të mekanizmit ndodhet në pjesën e përparme të mikroskopit (pranë operatorit), gjë që e bën funksionimin më të shpejtë dhe më të përshtatshëm kur vëzhgoni mostrën. Dhe mund të zvogëlojë lodhjen e shkaktuar nga vëzhgimi i gjatë dhe pluhuri lundrues i sjellë nga një gamë e madhe lëvizjesh.
4. Koka e shikimit trinokulare e përkulur.
Koka e shikimit e anuar Ergo mund ta bëjë vëzhgimin më të rehatshëm, në mënyrë që të minimizojë tensionin dhe shqetësimin e muskujve të shkaktuar nga orët e gjata të punës.
5. Mekanizmi i fokusimit dhe doreza e rregullimit të imët të skenës me pozicion të ulët të dorës.
Mekanizmi i fokusimit dhe doreza e rregullimit të imët të skenës miratojnë modelin e pozicionit të ulët të dorës, i cili përputhet me dizajnin ergonomik. Përdoruesit nuk kanë nevojë të ngrenë duart gjatë përdorimit, gjë që jep shkallën më të madhe të ndjenjës së rehatisë.
6. Skena ka një dorezë shtrënguese të integruar.
Doreza shtrënguese mund të kuptojë mënyrën e lëvizjes së shpejtë dhe të ngadaltë të skenës dhe mund të gjejë shpejt mostrat me sipërfaqe të madhe. Nuk do të jetë më e vështirë për të gjetur mostrat shpejt dhe saktë kur përdoren bashkë me dorezën e rregullimit të hollë të skenës.
7. Faza e madhe (14”x12”) mund të përdoret për vafera të mëdha dhe PCB.
Zonat e mostrave të mikroelektronikës dhe gjysmëpërçuesve, veçanërisht vaferit, priren të jenë të mëdha, kështu që faza e zakonshme e mikroskopit metalografik nuk mund të plotësojë nevojat e tyre të vëzhgimit. BS-4020B ka një skenë të madhe me një gamë të madhe lëvizjesh dhe është e përshtatshme dhe e lehtë për t'u lëvizur. Pra është një instrument ideal për vëzhgimin mikroskopik të mostrave industriale në sipërfaqe të madhe.
8. Mbajtësja e vaferave 12” vjen me mikroskopin.
Me këtë mikroskop mund të vërehen vaferë 12” dhe meshë me përmasa më të vogla, me dorezën e skenës me lëvizje të shpejtë dhe të imët, mund të përmirësojë shumë efikasitetin e punës.
9. Mbulesa mbrojtëse antistatike mund të zvogëlojë pluhurin.
Mostrat industriale duhet të jenë larg pluhurit lundrues dhe pak pluhur mund të ndikojë në cilësinë e produktit dhe rezultatet e testimit. BS-4020B ka një sipërfaqe të madhe mbulesë mbrojtëse antistatike, e cila mund të parandalojë pluhurin lundrues dhe pluhurin e rënies në mënyrë që të mbrojë mostrat dhe ta bëjë rezultatin e testit më të saktë.
10. Distanca më e madhe e punës dhe objektivi i lartë NA.
Komponentët elektronikë dhe gjysmëpërçuesit në mostrat e bordit të qarkut kanë dallime në lartësi. Prandaj, objektivat e distancave të gjata të punës janë miratuar në këtë mikroskop. Ndërkohë, për të përmbushur kërkesat e larta të mostrave industriale për riprodhimin e ngjyrave, teknologjia e veshjes me shumë shtresa është zhvilluar dhe përmirësuar me kalimin e viteve dhe janë miratuar objektivat BF&DF gjysmë-APO dhe APO me NA të lartë, të cilat mund të rivendosin ngjyrën reale të mostrave. .
11. Metoda të ndryshme vëzhgimi mund të plotësojnë kërkesa të ndryshme testimi.
| Ndriçimi | Fusha e Ndritshme | Fushë e errët | DIC | Dritë fluoreshente | Drita e polarizuar |
| Ndriçimi i reflektuar | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| Ndriçimi i transmetuar | ○ | - | - | - | ○ |
Aplikimi
Mikroskopi inspektues industrial BS-4020B është një instrument ideal për inspektimin e vaferave me madhësi të ndryshme dhe PCB-ve të mëdha. Ky mikroskop mund të përdoret në universitete, fabrika të elektronikës dhe çipave për kërkimin dhe inspektimin e vaferave, FPD, paketimin e qarkut, PCB, shkencat materiale, derdhjen precize, metalokeramikë, kallëpe precize, gjysmëpërçues dhe elektronikë etj.
Specifikimi
| Artikulli | Specifikimi | BS-4020A | BS-4020B | |
| Sistemi optik | Sistemi optik i korrigjuar me ngjyra të pafundme NIS45 (Gjatësia e tubit: 200 mm) | ● | ● | |
| Koka e shikimit | Kokë trinokulare me anim Ergo, e rregullueshme me pjerrësi 0-35°, distanca ndërpupillare 47mm-78mm; raporti i ndarjes okulare: Trinocular=100:0 ose 20:80 ose 0:100 | ● | ● | |
| Koka Trinocular Seidentopf, e pjerrët 30°, distanca ndërpupillare: 47mm-78mm; raporti i ndarjes okulare: Trinocular=100:0 ose 20:80 ose 0:100 | ○ | ○ | ||
| Koka dylbi Seidentopf, e pjerrët 30°, distanca ndërpupillare: 47mm-78mm | ○ | ○ | ||
| okular | Okula me plan në fushë super të gjerë SW10X/25mm, e rregullueshme me dioptri | ● | ● | |
| Okulist me planimetri në fushë super të gjerë SW10X/22mm, i rregullueshëm me dioptri | ○ | ○ | ||
| Okulist me plan ekstra të gjerë në fushë EW12.5X/17.5mm, i rregullueshëm me dioptri | ○ | ○ | ||
| Okulist me planimetri me fushë të gjerë WF15X/16mm, i rregullueshëm me dioptri | ○ | ○ | ||
| Okulist me plan të gjerë WF20X/12mm, dioptri i rregullueshëm | ○ | ○ | ||
| Objektivi | Objektivi gjysmë-APO i planit të pafundëm LWD NIS45 (BF & DF), M26 | 5X/NA=0.15, WD=20mm | ● | ● |
| 10X/NA=0.3, WD=11mm | ● | ● | ||
| 20X/NA=0.45, WD=3.0mm | ● | ● | ||
| Objektivi APO i planit të pafundëm LWD NIS45 (BF & DF), M26 | 50X/NA=0.8, WD=1.0mm | ● | ● | |
| 100X/NA=0.9, WD=1.0mm | ● | ● | ||
| Objektivi gjysmë-APO i planit të pafundëm LWD NIS60 (BF), M25 | 5X/NA=0.15, WD=20mm | ○ | ○ | |
| 10X/NA=0.3, WD=11mm | ○ | ○ | ||
| 20X/NA=0.45, WD=3.0mm | ○ | ○ | ||
| Objektivi APO i planit të pafundëm LWD NIS60 (BF), M25 | 50X/NA=0.8, WD=1.0mm | ○ | ○ | |
| 100X/NA=0.9, WD=1.0mm | ○ | ○ | ||
| Pjesë hunde | Gryka e pasme gjashtëshe (me fole DIC) | ● | ● | |
| Kondensator | Kondensator LWD NA0.65 | ○ | ● | |
| Ndriçimi i transmetuar | Furnizimi me energji LED 40W me udhëzues të dritës me fibër optike, intensiteti i rregullueshëm | ○ | ● | |
| Ndriçimi i reflektuar | Drita e reflektuar 24V/100W llambë halogjene, ndriçim Koehler, me frëngji me 6 pozicione | ● | ● | |
| Shtëpia e llambës halogjene 100W | ● | ● | ||
| Drita e reflektuar me llambë LED 5W, ndriçim Koehler, me frëngji me 6 pozicione | ○ | ○ | ||
| Moduli i fushës së ndritshme BF1 | ● | ● | ||
| Moduli i fushës së ndritshme BF2 | ● | ● | ||
| Moduli i fushës së errët DF | ● | ● | ||
| Filtri i integruar ND6, ND25 dhe filtri i korrigjimit të ngjyrave | ○ | ○ | ||
| Funksioni ECO | Funksioni ECO me butonin ECO | ● | ● | |
| Duke u fokusuar | Fokusimi koaksial i trashë dhe i imët me pozicion të ulët, ndarje e imët 1μm, Gama e lëvizjes 35 mm | ● | ● | |
| Skena | Skenë mekanike 3 shtresash me dorezë shtrënguese, madhësia 14”x12” (356mmx305mm); diapazoni i lëvizjes 356mmX305mm; Zona e ndriçimit për dritën e transmetuar: 356x284 mm. | ● | ● | |
| Mbajtëse vafere: mund të përdoret për të mbajtur vaferë 12 inç | ● | ● | ||
| Kompleti DIC | Kompleti DIC për ndriçim të reflektuar (mund të përdoret për objektiva 10X, 20X, 50X, 100X) | ○ | ○ | |
| Kompleti polarizues | Polarizer për ndriçimin e reflektuar | ○ | ○ | |
| Analizator për ndriçimin e reflektuar, i rrotullueshëm 0-360° | ○ | ○ | ||
| Polarizer për ndriçimin e transmetuar | ○ | ○ | ||
| Analizator për ndriçimin e transmetuar | ○ | ○ | ||
| Aksesorë të tjerë | Përshtatës 0,5X me montim C | ○ | ○ | |
| 1X përshtatës me montim C | ○ | ○ | ||
| Mbulesa e pluhurit | ● | ● | ||
| Kordoni elektrik | ● | ● | ||
| Rrëshqitje kalibruese 0.01mm | ○ | ○ | ||
| Shtypësi i mostrës | ○ | ○ | ||
Shënim: ● Veshje standarde, ○ Opsionale
Shembull Imazhi
Dimensioni
Njësia: mm
Diagrami i sistemit
Certifikata
Logjistika
